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ZnO单晶的生长表面形貌及形成机制研究
引用本文:王茂州,曾体贤,胡永琴,彭丽萍,王雪敏,吴卫东.ZnO单晶的生长表面形貌及形成机制研究[J].人工晶体学报,2014,43(7):1668-1671.
作者姓名:王茂州  曾体贤  胡永琴  彭丽萍  王雪敏  吴卫东
作者单位:中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳621900;西华师范大学物理与电子信息学院,南充637009;中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室,绵阳,621900
基金项目:中国博士后科学基金(2013M542294);四川省科技厅应用基础项目(2014JY0133)
摘    要:采用石墨辅助化学气相传输法生长了ZnO单晶体.利用XRD、金相显微镜和扫描电镜等对晶体结构和表面形貌进行研究,发现其表面由大量六边形台阶堆垛而成,单个晶粒呈六方伞状结构并始终显露(001)面.同一平面内台阶的大小、陡峭程度存在差异,台阶之间为平行走向.通过形成机制分析,获得生长体系的过饱和度σv约为7;,发现生长表面的腐蚀形貌为六边形平底蚀坑,确定在化学气相法中ZnO单晶呈台阶生长的主要条件是螺旋位错.

关 键 词:氧化锌单晶  化学气相法  表面形貌  生长机制  

Growth Surface Morphology and Formation Mechanism of ZnO Single Crystals
WANG Mao-zhou,ZENG Ti-xian,HU Yong-qin,PENG Li-ping,WANG Xue-min,WU Wei-dong.Growth Surface Morphology and Formation Mechanism of ZnO Single Crystals[J].Journal of Synthetic Crystals,2014,43(7):1668-1671.
Authors:WANG Mao-zhou  ZENG Ti-xian  HU Yong-qin  PENG Li-ping  WANG Xue-min  WU Wei-dong
Abstract:
Keywords:
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