| La掺杂对ZnO纳米薄膜微观结构与光学特性的影响 |
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| 引用本文： | 朱婧,马书懿,李发明,麻琳,杨晓红,王彩云,李向兵. La掺杂对ZnO纳米薄膜微观结构与光学特性的影响[J]. 人工晶体学报, 2014, 43(8): 1948-1953 |
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| 作者姓名： | 朱婧 马书懿 李发明 麻琳 杨晓红 王彩云 李向兵 |
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| 作者单位： | 西北师范大学物理与电子工程学院,兰州,730070 |
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| 基金项目： | 甘肃省自然科学基金(1308RJZA258);西北师范大学大学生科研资助基金 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射方法在Si衬底上制备了不同掺杂量的La掺杂ZnO(ZnO∶La)薄膜.用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计和光致荧光发光(PL)等表征技术,研究了不同掺杂量对ZnO∶ La薄膜的微观结构和光学特性的影响.结果表明,所有薄膜均只出现的(002)衍射峰,表明La3+可以替代ZB2或者进入ZnO晶格间隙,并未改变ZnO的六角纤锌矿结构.通过计算可知La掺杂可以抑制ZnO的晶粒增长.可见光范围的透过率超过80;,同时随着La掺杂量的增加,薄膜的光学带隙值逐渐增大.通过对光致发光谱的研究表明,La掺杂可以增强ZnO薄膜室温下的紫外光发光强度.
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| 关 键 词： | ZnO∶La薄膜 微观结构 光学带隙 磁控溅射, |
Influence of La Doping on the Microstructures and Optical Properties of ZnO Thin Films |
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| ZHU Jing,MA Shu-yi,LI Fa-ming,MA Lin,YANG Xiao-hong,WANG Cai-yun,LI Xiang-bing. Influence of La Doping on the Microstructures and Optical Properties of ZnO Thin Films[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2014, 43(8): 1948-1953 |
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| Authors: | ZHU Jing MA Shu-yi LI Fa-ming MA Lin YANG Xiao-hong WANG Cai-yun LI Xiang-bing |
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