| Si/SiO2高对比光栅参数对反射率的影响 |
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| 引用本文： | 李秀山,宁永强,张星,贾鹏,陈泳屹,秦莉,刘云,王立军.Si/SiO2高对比光栅参数对反射率的影响[J].发光学报,2015(7). |
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| 作者姓名： | 李秀山 宁永强 张星 贾鹏 陈泳屹 秦莉 刘云 王立军 |
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| 作者单位： | 1. 发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033; 中国科学院大学，北京 100049
2. 发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春,130033 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，吉林省科技厅项目，吉林省科技发展计划，长春市科技发展计划 |
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| 摘 要： | 为解决850 nm波长VCSEL表面的GaAs/空气材料的高对比亚波长光栅( HCGs)稳定性差的问题,设计了基于Si/SiO2材料的高对比亚波长光栅。研究了850 nm波长高稳定、高反射率(>99.5%)的高对比亚波长矩形光栅参数的变化对反射率的影响。利用有限元分析软件计算了Si/SiO2高对比亚波长光栅的高度、填充因子、周期、刻蚀深度及光栅倾角等各个参数的变化对850 nm的反射率影响。计算结果表明：当波长为850 nm的TE光从SiO2正入射到矩形HCGs且只有在光栅的倾角大于88°的小范围内变化时,HCGs的反射率才大于0.995,而光栅的其他参数对HCGs反射率的影响可以忽略不计。
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| 关 键 词： | 光栅 高对比亚波长光栅 高反射率 有限元分析 |
Influence of Grating Parameters on Reflectivity of Si/SiO2 High Contrast Gratings |
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| LI Xiu-shan,NING Yong-qiang,ZHANG Xing,JIA Peng,CHEN Yong-yi,QIN Li,LIU Yun,WANG Li-jun.Influence of Grating Parameters on Reflectivity of Si/SiO2 High Contrast Gratings[J].Chinese Journal of Luminescence,2015(7). |
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| Authors: | LI Xiu-shan NING Yong-qiang ZHANG Xing JIA Peng CHEN Yong-yi QIN Li LIU Yun WANG Li-jun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | gratings high contrast gratings highly reflectivity finite element analysis |
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