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| 掺铂TiO_(2-x)氧敏薄膜的制备和性能 | |
| 引用本文： | 郑嘹赢,徐明霞,徐廷献.掺铂TiO_(2-x)氧敏薄膜的制备和性能[J].半导体学报,1999,20(11):1022-1025. |
| 作者姓名： | 郑嘹赢 徐明霞 徐廷献 |
| 作者单位： | 天津大学材料科学与工程学院!天津300072 |
| 摘 要： | 以钛酸丁酯和无水乙醇分别为原料和溶剂，添加适量稳定剂制成稳定溶胶，用浸涂法在Ａｌ２Ｏ３基片上制备ＴｉＯ２薄膜，经１０００℃Ｈ２气氛下还原制得ＴｉＯ２－ｘ薄膜．最后在氯铂酸甲醛溶液中浸泡得到掺铂薄膜．实验结果表明掺铂薄膜在８００℃下具有良好的氧敏感性和重复性，薄膜在Ｎ２气氛下具有良好的电阻温度特性．本文分析了铂在薄膜中的作用原理． |
| 关 键 词： | TiO2－x氧敏薄膜 掺杂 铂 氧化钛薄膜 半导体材料 |
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