新型电容式微机械超声波换能器(CMUT) |
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引用本文: | 宋金龙,郑欣怡,凤 瑞,周 铭,商兴莲.新型电容式微机械超声波换能器(CMUT)[J].电子器件,2021,44(5):1098-1103. |
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作者姓名: | 宋金龙 郑欣怡 凤 瑞 周 铭 商兴莲 |
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作者单位: | 华东光电集成器件研究所 |
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摘 要: | 超声波换能器在工业、医疗和国防等领域具有巨大的应用市场,针对传统压电晶体超声波换能器一致性低、难以加工二维阵列等问题,提出了一种基于MEMS技术的新型CMUT敏感单元结构。与传统的CMUT敏感单元将上电极加工在振动薄膜顶部不同,新型CMUT敏感单元的上电极加工在振动薄膜的底部,通过减小电容器上下极板之间的距离提高CMUT的发射性能和接收性能。利用Comsol Multiphysics对CMUT敏感单元进行了模态和瞬态仿真分析,仿真结果表明,上电极位置的变化没有导致换能器工作带宽的变化,新型结构单个CMUT敏感单元的接收灵敏度为0.17fA/Pa,振动薄膜中心处的发射声压为0.43Pa,分别为相同条件下传统结构的3.76倍和8.46倍。
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关 键 词: | 电容式微机械超声波换能器 有效距离 发射性能 接收性能 吸合现象 |
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