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| 硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究 | |
| 引用本文： | 刘月明,田维坚,张少君. 硅微机械悬臂梁红外辐射热探测技术的研究[J]. 光子学报, 2004, 33(3): 371-374 |
| 作者姓名： | 刘月明 田维坚 张少君 |
| 作者单位： | 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710068;西安理工大学,西安,710048;中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710068;西安理工大学,西安,710048 |
| 基金项目： | 陕西省教委专项科研计划 (0 2JK155)，中国博士后基金(2 0 0 2 0 3 2 2 2 5)，王宽诚博士后基金，中国科学院“百人计划”基金资助项目 |
| 摘 要： | 研究了利用镀膜硅微机械悬臂梁红外辐射热挠曲实现红外辐射探测的技术,建立了镀膜双层硅微悬臂梁红外辐射热挠曲的理论模型.并利用镀有二氧化硅膜层的硅微悬臂梁,在硅微悬臂梁根部制作热挠曲检测压敏电阻,用实验方法测试了硅微悬臂梁对红外辐射的响应规律,结果表明该镀膜硅微悬臂梁对顶端辐射激励的1.5 μm红外光的响应灵敏度可达 2.39 μV/mW.用计算机优化方法得到了硅微机械悬臂梁的最佳镀膜厚度比的规律,为进一步提高硅微悬臂梁红外探测的灵敏度提供了设计依据. |
| 关 键 词： | 红外辐射 热探测 硅微悬臂梁 镀膜优化 |
| 收稿时间： | 2003-04-24 |
| 修稿时间： | 2003-04-24 |
Study on Infrared Detection Techniques Using the Micromechanical Silicon Cantilever |
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. Study on Infrared Detection Techniques Using the Micromechanical Silicon Cantilever[J]. Acta Photonica Sinica, 2004, 33(3): 371-374 |
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| Authors: | |
| Affiliation: | (1 Xi’an Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS, Xi’an 710068, P R China) (2 Xi’an University of Technology, Xi’an 710048, P R China) |
| Abstract: | The infrared detection techniques using the micromechanical silicon cantilever are studied. The theoretical model of bi-layered micro-cantilever under the infrared radiation is set up, and the corresponding experiment is taken to verify the characteristics of infrared detection using such a bi-layered silicon micro-cantilever with coating SiO2. The infrared detection sensitivity reached 2.39 μV/mW for the 1.5 μm infrared point radiation in the experiment. By using the computer, the optimization work is done for selecting the best material and thickness of the coating film to get the maximal infrared detection sensitivity. |
| Keywords: | Infrared radiation Thermal detection Micromechanic al silicon cantilever Coating optimization |
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