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| P型金刚石半导体的新稳定制造技术 | |
| 引用本文： | 饭田昌盛,黑须盾生,罔野,健,赵秀英.P型金刚石半导体的新稳定制造技术[J].微细加工技术,1990(Z1). |
| 作者姓名： | 饭田昌盛 黑须盾生 罔野 健 赵秀英 |
| 作者单位： | 东海大学工学院电子工程系，东海大学工学院电子工程系，东海大学工程研究系电子工程专业，东海大学工程研究系电子工程专业 教授 工博，教授 工博，博士生，博士生 |
| 摘 要： | 金刚石不但作为宝右,而且利用它的硬度还有各种各样的用途。在电子学领域中正使用金刚石作为避免激光二极管过热的热沉。但构成金刚石的碳属于Ⅳ族,虽然与同族的硅和锗同样也可由价电子结合形成结晶,但现在基本上还没有使用它来作为制造电子器件的半导体材料。主要原因在于向金刚石内掺入受主或施主杂质原子的方法还没有确立。 |
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