| 用卢瑟福背散射/沟道技术研究ZnO/Zn0.9 Mg0.1 O/ZnO异质结的弹性应变 |
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| 引用本文： | 王坤,姚淑德,侯利娜,丁志博,袁洪涛,杜小龙,薛其坤.用卢瑟福背散射/沟道技术研究ZnO/Zn0.9 Mg0.1 O/ZnO异质结的弹性应变[J].物理学报,2006,55(6). |
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| 作者姓名： | 王坤 姚淑德 侯利娜 丁志博 袁洪涛 杜小龙 薛其坤 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;中国-比利时合作项目 |
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| 摘 要： | 利用卢瑟福背散射/沟道技术对射频等离子体辅助分子束外延法生长在蓝宝石衬底上的ZnO/Zn0.9Mg0.1O/ZnO异质结进行了组分分析,并得到了异质结弹性应变随深度的变化,应变由界面向表面逐渐释放,并由负变正,且在ZnO与Zn0.9Mg0.1O界面处轻微增大.负的应变是由于ZnO与衬底的晶格失配和热失配,而逐渐变为正值是Zn0.9Mg0.1O与ZnO的晶格常数差异及弹性应变的逐渐释放所致.
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| 关 键 词： | 异质结 卢瑟福背散射/沟道 弹性应变 |
Depth-dependent elastic strain in ZnO/Zn0.9Mg0.1O/ZnO heterostructure studied by Rutherford backscattering/channeling |
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| Wang Kun,Yao Shu-De,Hou Li-Na,Ding Zhi-Bo,Yuan Hong-Tao,Du Xiao-Long,Xue Qi-Kun.Depth-dependent elastic strain in ZnO/Zn0.9Mg0.1O/ZnO heterostructure studied by Rutherford backscattering/channeling[J].Acta Physica Sinica,2006,55(6). |
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| Authors: | Wang Kun Yao Shu-De Hou Li-Na Ding Zhi-Bo Yuan Hong-Tao Du Xiao-Long Xue Qi-Kun |
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| Keywords: | ZnMgO |
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