| ；As+注入硅的紫外-可见椭圆偏振光谱 |
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| 引用本文： | 江任荣,项颂光,王浩文,徐泽鸿,莫党.；As+注入硅的紫外-可见椭圆偏振光谱[J].物理学报,1987,36(8):1064-1069. |
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| 作者姓名： | 江任荣 项颂光 王浩文 徐泽鸿 莫党 |
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| 作者单位： | 中山大学微电子学研究所 |
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| 摘 要： | 关键词：
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ON ULTRAVIOLET-VISIBLE ELLIPOMETRIC SPECTRA OF As+ IMPLANTED SILICON |
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| Jiang Ren-rong,Xiang Song-guang,Wang Hao-wen,Xu Ze-hong Mo Dang.ON ULTRAVIOLET-VISIBLE ELLIPOMETRIC SPECTRA OF As+ IMPLANTED SILICON[J].Acta Physica Sinica,1987,36(8):1064-1069. |
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| Authors: | Jiang Ren-rong Xiang Song-guang Wang Hao-wen Xu Ze-hong Mo Dang |
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| Abstract: |
Keywords： |
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