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薄膜应力分析中的应力梯度的影响

引用本文：	于利根,白辰东.薄膜应力分析中的应力梯度的影响[J].薄膜科学与技术,1993,6(3):173-178.

作者姓名：	于利根白辰东

摘要：
关键词：	薄膜应力分析应力梯度
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