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| 原子层沉积增强微纳结构硅电池的光电性能 | |
| 引用本文： | 王饮,杨秧,敖献煌*.原子层沉积增强微纳结构硅电池的光电性能[J].华南师范大学学报(自然科学版),2018(5). |
| 作者姓名： | 王饮 杨秧 敖献煌* |
| 作者单位： | (华南师范大学华南先进光电子研究院;广州510006) |
| 摘 要： | 采用原子层沉积技术在硅表面沉积氧化铝(Al2O3)作为钝化层、掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为透明电极，将其应用于有金字塔结构和黑硅结构的光伏电池通过对反射光谱、电流一电压(J-V)曲线、外量子效率等测试，比较平面硅、金字塔绒面硅和黑硅3种不同材料结构电池的光电性能通过在金字塔结构硅表面沉积10次循环的A12O3作为钝化层，180nm厚的AZO作为透明电极，光电转换效率达到11.23%,短路电流28.72 mA/c;mz，开路电压0.548 V,填充因子0.71将该钝化层和透明电极应用于黑硅电池上获得了8.89%的光电转换效率结果表明，掺铝氧化锌作为透明电极、A12O3:作为钝化层，对微纳结构硅电池性能有明显提高. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |