| 用GXRD和XPS分析离子注入层的表面结构 |
| |
| 引用本文： | 杨建华.用GXRD和XPS分析离子注入层的表面结构[J].理化检验(化学分册),2003,39(4):202-204. |
| |
| 作者姓名： | 杨建华 |
| |
| 作者单位： | 南通工学院,南通,226007 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 (5 96710 5 1)，江苏省教育厅自然科学基金(0 2KJD490 0 0 1)部分资助项目 |
| |
| 摘 要： | 采用由金属蒸气真空弧(MEVVA)离子源引出的强来流脉冲钨离子对H13钢进行了离子注入表面改性研究。借助掠面X射线衍射(GXRD)和X射线光电子能谱(XPS)考察了注入表面层的相结构以及钨、铁、碳的化学状态。研究发现，表面的含碳化钨层比含铁、钨氧化层要厚，离子注入层中钨元素以替位钨和三氧化钨形式存在，铁元素以金属铁和三氧化二铁形式出现，而又各价态元素的原于比随深度变化。
|
| 关 键 词： | GXRD XPS 分析 离子注入层 表面结构 掠面X射线衍射 X射线光电子能谱 离子注入 表面改性 H13钢 表面分析 钨离子 抗氧化机理 耐磨机理 |
| 文章编号： | 1001-4020(2003)04-0202-03 |
| 修稿时间： | 2002年4月17日 |
ANALYSIS OF SURFACE MICROSTRUCTURE OF ION IMPLANTATION LAYER BY GXRD AND XPS |
| |
| YANG Jian,hua.ANALYSIS OF SURFACE MICROSTRUCTURE OF ION IMPLANTATION LAYER BY GXRD AND XPS[J].Physical Testing and Chemical Analysis Part B:Chemical Analgsis,2003,39(4):202-204. |
| |
| Authors: | YANG Jian hua |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | GXRD XPS Ion implantation |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
