|
|||||
|
|
| 一种基于偏振光干涉的直线度测量系统 | |
| 引用本文： | 肖胜,周易,冯胜东,康吉. 一种基于偏振光干涉的直线度测量系统[J]. 光学与光电技术, 2014, 12(5): 51 |
| 作者姓名： | 肖胜 周易 冯胜东 康吉 |
| 作者单位： | 肖胜:海军驻中南地区光电系统军事代表室, 湖北 武汉 430223 周易:国网湖北省电力公司, 湖北 武汉 430077 冯胜东:华中科技大学机械学院仪器系, 湖北 武汉 430223 康吉:华中科技大学机械学院仪器系, 湖北 武汉 430223 |
| 摘 要： | 介绍了一种基于偏振光干涉的直线度测量系统,该系统由固定部分和活动部分组成。测量时,活动部分固定在被测要素上。被测要素的直线度变化将导致两线偏振光相位的变化。通过计量干涉条纹即可得到直线度的变化结果。实验显示本测量系统具有10nm的分辨率,在20mm的测量范围内误差≤0.5μm,提高了分辨率和测量精度。 |
| 关 键 词： | 直线度 测量 偏振光干涉 相位 系统 |
| 收稿时间： | 2014-06-13 |
A Measurement Method System Based on Interference of Polarized Light |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | straightness measurement interference of polarized light phase system |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |