| XPS分析绝缘样品中磁透镜对中和效果的影响研究 |
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| 引用本文： | 冯婷,冯根生,祁成林,杨彬.XPS分析绝缘样品中磁透镜对中和效果的影响研究[J].分析测试技术与仪器,2016(3):159-164. |
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| 作者姓名： | 冯婷 冯根生 祁成林 杨彬 |
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| 作者单位： | 1. 北京科技大学冶金与生态工程学院,北京,100083;2. 岛津企业管理(中国)有限公司,辽宁沈阳,110001 |
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| 摘 要： | 以绝缘样品聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)为X射线光电子能谱(XPS)分析测试对象,探讨了使用不同的X射线源作为激发源时,磁透镜对荷电中和系统中和效果的影响.试验结果表明,当使用单色化Al Kα为激发源时,磁透镜对荷电中和器的中和效果没有显著影响.而使用非单色化双阳极Mg Kα为激发源,磁透镜开启时才能得到良好的荷电中和效果,磁透镜关闭时所测谱峰会因荷电效应而发生峰形畸变.
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| 关 键 词： | X射线光电子能谱 绝缘样品 磁透镜 荷电中和 X射线源 |
| 收稿时间： | 7/4/2016 12:00:00 AM |
| 修稿时间： | 2016/9/12 0:00:00 |
Effect of Magnetic Lens on Neutralization for Insulating Sample in XPS |
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| FENG Ting,FENG Gen-sheng,QI Cheng-lin and YANG Bin.Effect of Magnetic Lens on Neutralization for Insulating Sample in XPS[J].Analysis and Testing Technology and Instruments,2016(3):159-164. |
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| Authors: | FENG Ting FENG Gen-sheng QI Cheng-lin and YANG Bin |
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| Institution: | School of Metallurgical and Ecological Engineering, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China;School of Metallurgical and Ecological Engineering, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China;School of Metallurgical and Ecological Engineering, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China;Shimadzu Corporation, Shenyang 110001, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | X-ray photoelectron spectroscopy insulating sample magnetic lens charge compensation X-ray source |
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