| SiO2脊形条波导热极化引起的电光效应 |
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| 引用本文： | 曹霞,秦海燕,成丽华. SiO2脊形条波导热极化引起的电光效应[J]. 物理学报, 2006, 55(10) |
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| 作者姓名： | 曹霞 秦海燕 成丽华 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;教育部留学回国人员科研启动基金 |
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| 摘 要： | 通过理论模拟对具有上覆盖层的SiO2脊形条波导结构进行了优化,在此基础上利用微电子工艺制作了SiO2脊形波导Mach-Zehnder 型电光调制器,并进行热极化引起的电光和非线性效应的研究.热极化过程大幅增强了样品的电光及非线性效应,二次电光系数由热极化前的1.56×10-22(m/V)2提高到热极化后的8.50×10-22(m/V)2,极化后得到了0.093pm/V的线性电光系数,对热极化的物理机理进行了理论分析.
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| 关 键 词： | 电光调制器 SiO2光波导 电光效应 热极化 |
Electro-optic effect induced by thermal poling in SiO2 ridge waveguides |
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| Cao Xia,Qin Hai-Yan,Cheng Li-Hua. Electro-optic effect induced by thermal poling in SiO2 ridge waveguides[J]. Acta Physica Sinica, 2006, 55(10) |
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| Authors: | Cao Xia Qin Hai-Yan Cheng Li-Hua |
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