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| 高稳定微波等离子体系统 | |
| 引用本文： | 季天仁,李洪.高稳定微波等离子体系统[J].真空电子技术,1989(6):22-25. |
| 作者姓名： | 季天仁 李洪 |
| 作者单位： | 国光电子管总厂微波所，国光电子管总厂微波所，国光电子管总厂微波所 |
| 摘 要： | 本文介绍我们正在研制的一套微波等离子体系统。其输出功率稳定度高,微波传输系统的设计根据应用要求作了多方面考虑。针对不同的应用目的,可与不同的等离子体作用腔方便地连接,以供沉积各种新型薄膜材料参考选用。 |
| 关 键 词： | 徽波 等离子体系统 应用 |
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