反应离子腐蚀/等离子体腐蚀设备

Tegal1500系列是平板式反应离子腐蚀/等离子腐蚀设备,其基本设计构思是采用二个频率、三个电极方式而获得的预期工艺控制性和采用完整的组件结构而构成的特殊的硬件。基于这一设计构思,1500系列腐蚀设备既可以满足研究开发所需求的多样性工艺,又可以满足生产线的高可靠性、高实动率这一大生产要求。