| 大面积自支撑CVD金刚石厚膜的应力研究 |
| |
| 引用本文： | 卢文壮,左敦稳,徐锋,王珉. 大面积自支撑CVD金刚石厚膜的应力研究[J]. 人工晶体学报, 2008, 37(6): 1444-1447 |
| |
| 作者姓名： | 卢文壮 左敦稳 徐锋 王珉 |
| |
| 作者单位： | 南京航空航天大学机电学院,南京,210016;江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京,210016;南京航空航天大学机电学院,南京,210016 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，江苏省自然科学基金，江苏省精密与微细制造技术重点实验室资助项目 |
| |
| 摘 要： | 在HFCVD系统中制备了直径为φ100 mm的自支撑CVD金刚石厚膜,利用XRD研究了自支撑CVD金刚石厚膜的应力.结果显示制备的大面积自支撑CVD金刚石厚膜处于较低的应力水平,应力分布较均匀,生长面应力状态为压应力,成核面应力状态为张应力.
|
| 关 键 词： | 应力 金刚石厚膜 自支撑 大面积 XRD |
Stress in Large Area Free-standing CVD Diamond Thick Film by X-ray Diffraction Analysis |
| |
| LU Wen-zhuang,ZUO Dun-wen,XU Feng,WANG Min. Stress in Large Area Free-standing CVD Diamond Thick Film by X-ray Diffraction Analysis[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2008, 37(6): 1444-1447 |
| |
| Authors: | LU Wen-zhuang ZUO Dun-wen XU Feng WANG Min |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | XRD |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《人工晶体学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《人工晶体学报》下载全文 |
|
