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| 石英微机械振动陀螺振子的失效分析 | |
| 引用本文： | 荣丽梅,常嗣和,姬红,阮世池.石英微机械振动陀螺振子的失效分析[J].电子显微学报,2003,22(6):620-621. |
| 作者姓名： | 荣丽梅 常嗣和 姬红 阮世池 |
| 作者单位： | 1. 电子科技大学微固学院分析中心,四川,成都,610054 2. 成都理工大学电镜室,四川,成都,610059 |
| 摘 要： | 微机械惯性器件是振动惯性技术和微电子技术相结合的产物，是振动惯性技术的延伸和发展，这就决定了该器件具有价格低、可靠性高、尺寸小和质量轻等突出特点。目前，它已成为经济发达国家研究的热点，也开始引起国内外惯性技术界的高度重视。 |
| 关 键 词： | 微机械惯性器件 振动惯性技术 微电子技术 石英微机械振动陀螺振子 晶体表面加工技术 |
Failure analysis of quartz micromachined gyroscope |
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