| 光学玻璃超精密抛光加工中材料去除机理研究综述 |
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| 引用本文： | 蒋小为,龙兴武,谭中奇.光学玻璃超精密抛光加工中材料去除机理研究综述[J].中国激光,2021(4):231-248. |
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| 作者姓名： | 蒋小为 龙兴武 谭中奇 |
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| 作者单位： | 国防科技大学前沿交叉学科学院 |
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| 基金项目： | 湖南省研究生教育创新工程和专业能力提升工程项目(CX20200016);国防科技大学自主科研专项项目(ZZKY-YX-07-01)。 |
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| 摘 要： | 光学玻璃以其优异的物理性能被广泛应用于航天、信息、能源、化工、微电子等领域。随着这些领域的不断发展,传统技术已无法满足日新月异的光学元件超光滑表面加工的要求。为此,需要针对光学玻璃表面的超精密抛光加工展开深入且广泛的研究。在诸多有关超精密抛光加工技术的研究中,光学玻璃材料的抛光去除机理始终是人们的研究重点。为此,本文从超抛加工涉及的基本组件、材料去除的物理机理、材料去除的化学机理三个方面入手,对光学玻璃超精密抛光加工中材料去除机理进行综述,目的是掌握国内外学术界对于该问题的认识,并据此提出若干问题的思考,以期指导工程实践,进一步提升超光滑表面的成形能力。
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| 关 键 词： | 材料 光学玻璃 超光滑表面 抛光加工 材料去除机理 |
A Review of Material Removal Mechanism in Ultra-Precision Polishing of Optical Glass |
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| Jiang Xiaowei,Long Xingwu,Tan Zhongqi.A Review of Material Removal Mechanism in Ultra-Precision Polishing of Optical Glass[J].Chinese Journal of Lasers,2021(4):231-248. |
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| Authors: | Jiang Xiaowei Long Xingwu Tan Zhongqi |
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| Institution: | (College of Advanced Interdisciplinary Studies,National University of Defense Technology,Changsha Hunan 410073 China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | materials optical glass super smooth surface polishing material removal mechanism |
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