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| MOCVD方法生长的氧化锌薄膜及其发光特性 | |
| 引用本文： | 傅竹西,林碧霞,祝杰,刘丽萍,彭小滔,贾云波.MOCVD方法生长的氧化锌薄膜及其发光特性[J].发光学报,2001,22(2):119-124. |
| 作者姓名： | 傅竹西 林碧霞 祝杰 刘丽萍 彭小滔 贾云波 |
| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学中国科学技术大学物理系, 2. 中国科学技术大学物理系, 3. 中国科学技术大学 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 ( 5 9872 0 3 7)，安徽省科委自然科学基金资助项目 ( 9864 15 5 0 )，国家科委专项资金资助项目 (国科 |
| 摘 要： | 近年来，随着近紫外光发射氧化锌薄膜研究的进展，许多先进的薄膜生长手段被广泛采用。本文探索了用MOCVD方法在硅衬底上生长氧化锌薄膜的方法，试验了用几种不同的有机金属源生长ZnO薄膜；研究了源材料及生长压力和温度对薄膜生长的影响；观察了样品的室温光致发光光 谱。通过与溅射方法生长的ZnO薄膜的比较，提出了影响材料结构和发光特性的可能原因。 |
| 关 键 词： | 氧化锌 薄膜制备 结构特性 光致发光 MOCVD 发光特性 |
| 文章编号： | 1000-7032(2001)02-0119-06 |
| 修稿时间： | 2000年3月22日 |
MOCVD Growth of ZnO Films and Their Luminescence Properties |
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| FU Zhu xi ,LIN Bi xia ,ZHU Jie ,JIA Yun bo ,LIU Li ping ,PENG Xiao tao.MOCVD Growth of ZnO Films and Their Luminescence Properties[J].Chinese Journal of Luminescence,2001,22(2):119-124. | |
| Authors: | FU Zhu xi LIN Bi xia ZHU Jie JIA Yun bo LIU Li ping PENG Xiao tao |
| Institution: | FU Zhu xi 1,2,LIN Bi xia 2,ZHU Jie 2,JIA Yun bo 1,LIU Li ping 2,PENG Xiao tao 2 |
| Abstract: | |
| Keywords: | zinc oxide films MOCVD growth structure photoluminescence |
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