| CdZnTe晶体(111)面摇摆曲线不唯一现象研究 |
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| 引用本文： | 曾冬梅,王涛,李强,查钢强,介万奇.CdZnTe晶体(111)面摇摆曲线不唯一现象研究[J].半导体学报,2007,28(Z1):80-83. |
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| 作者姓名： | 曾冬梅 王涛 李强 查钢强 介万奇 |
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| 作者单位： | 曾冬梅（西北工业大学材料学院,西安,710072）;王涛（西北工业大学材料学院,西安,710072）;李强（西北工业大学材料学院,西安,710072）;查钢强（西北工业大学材料学院,西安,710072）;介万奇（西北工业大学材料学院,西安,710072） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(批准号:50336040) |
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| 摘 要： | CdZnTe晶体通常利用其(333)晶面的X射线衍射摇摆曲线来检测(111)晶面的结晶质量.本文根据CdZnTe晶体(333)面摇摆曲线实验结果,首次提出了CdZnTe晶体摇摆曲线的不唯一现象.摇摆曲线的这种不唯一现象是样品绕(111)面法线方向旋转360.过程中,晶体的(333)面和(333)面在同一衍射几何中都发生了布拉格衍射,优化扫描后得出两个摇摆曲线.分析了CdZnTe晶体(333)面和(-333)面对X射线散射能力,得出CdZnTe晶体(333)面的衍射强度小于(-333)面的衍射强度,所以在同等实验条件下,对同一CdZnTe晶片(333)面的摇摆曲线的强度比(333)面摇摆曲线的强度低.
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| 关 键 词： | CdZnTe 不唯一现象 摇摆曲线 结构因子 |
| 文章编号： | 0253-4177(2007)S0-0080-04 |
| 修稿时间： | 2006年12月15 |
Nounique Phenomenon of Rocking Curve on (111) Surfaces of CdZnTe Wafers |
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