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金属调制分子束外延生长氮化铝薄膜

作者单位：	南京大学电子科学与工程学院,南京 210023

基金项目：	国家自然科学基金;国家重点研发计划;江苏省重点研发计划;江苏省重点研发计划;江苏省特聘教授项目

摘要：
关键词：	金属调制分子束外延外延生长氮化铝粗糙度
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