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| 热屏结构对200mm半导体级提拉单晶硅中氧含量分布的影响 | |
| 作者单位： | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,宁夏半导体级硅晶圆材料工程技术研究中心,银川 750021;厦门大学材料学院,厦门市电子陶瓷材料与元器件重点实验室,厦门 361005;厦门大学材料学院,厦门市电子陶瓷材料与元器件重点实验室,厦门 361005;厦门大学深圳研究院,深圳 518063 |
| 基金项目： | 宁夏回族自治区重点研发计划;深圳市基础研究面上项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 半导体级单晶硅 氧含量 有限元分析 热屏结构 温度场 流场 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |