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| 蓝宝石晶体湿法刻蚀各向异性研究与机理分析 | |
| 作者单位： | 南京工业职业技术大学机械工程学院,南京 210000;东南大学机械工程学院,南京 210000;南京工业职业技术大学机械工程学院,南京 210000 |
| 基金项目： | 江苏省工业感知;智能制造装备工程研究中心开放基金;南京工业职业技术大学引进人才科研启动基金项目 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 蓝宝石 湿法刻蚀 各向异性 刻蚀条件 刻蚀机理 表面形貌 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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