| 氦压对类金刚石薄膜结构和光学性质的影响 |
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| 引用本文： | 丁旭丽,李清山,徐言东,于业梅,李新坤. 氦压对类金刚石薄膜结构和光学性质的影响[J]. 物理实验, 2009, 29(4) |
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| 作者姓名： | 丁旭丽 李清山 徐言东 于业梅 李新坤 |
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| 作者单位： | 1. 曲阜师范大学,物理工程学院,山东,曲阜,273165
2. 曲阜师范大学,物理工程学院,山东,曲阜,273165;鲁东大学,山东,烟台,264025 |
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| 摘 要： | 使用脉冲激光沉积技术在不同氦压下制备了系列无氢类金刚石薄膜,测量了样品的Raman光谱、光吸收光谱和光致发光光谱,采用原子力显微镜测试了薄膜的表面形貌,研究了薄膜的微结构和光学性质与制备条件的依赖关系. 结果表明,该薄膜是由sp2和sp3杂化碳原子组成的非晶碳膜. 薄膜的光学带隙在1.45～1.78 eV. 薄膜的发光在可见光区呈宽带结构,氦压能够对类金刚石薄膜的结构和光学性质产生较大影响. 当氦压从0.05 Pa升高至15 Pa时,sp2团簇变大,带尾态增多,从而导致薄膜的发光增强,光学带隙变窄,发光峰位红移. AFM 形貌表明随着氦压的升高,薄膜的表面由致密光滑变得粗糙,并且许多大小不均匀的球状颗粒出现在薄膜表面.
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| 关 键 词： | 类金刚石薄膜 脉冲激光沉积 氦压 |
Effect of He pressure on microstructure and optical properties of diamond-like carbon films |
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| DING Xu-li,LI Qing-shan,XU Yan-dong,YU Ye-mei,LI Xin-kun. Effect of He pressure on microstructure and optical properties of diamond-like carbon films[J]. Physics Experimentation, 2009, 29(4) |
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| Authors: | DING Xu-li LI Qing-shan XU Yan-dong YU Ye-mei LI Xin-kun |
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