| 真空蒸发CVD法研制超微粒SnO2薄膜 |
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| 引用本文： | 李蓉萍 季秉厚. 真空蒸发CVD法研制超微粒SnO2薄膜[J]. 内蒙古大学学报(自然科学版), 1990, 21(4): 521-526 |
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| 作者姓名： | 李蓉萍 季秉厚 |
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| 作者单位： | 内蒙古大学半导体能源实验室，内蒙古大学半导体能源实验室 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 薄膜 SnO2 超微粒 真空蒸发 CVD法 |
Perparation of Ultra-fineness Particle SnO_2 Film by Vaccum Evaporation |
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| Li Rongping Ji Binghou. Perparation of Ultra-fineness Particle SnO_2 Film by Vaccum Evaporation[J]. Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Neimongol, 1990, 21(4): 521-526 |
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| Authors: | Li Rongping Ji Binghou |
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| Affiliation: | Semiconductor Energy Laboratory |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ultra-fineness Film Humidity sensitivity Gas sensitivity Impurity doping |
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