关于任意膜厚的一种控制方法

一、前言制作薄膜的时候,在蒸镀过程中监控膜厚是很重要的。直到现在已不断发展和利用了各种各样的方法。这些方法分为电学方法,机械方法和光学方法。测定石英振荡器振荡频率的变化,测定薄膜的电阻等等属于电学方法;用微量天平测定附着在基板上的粒子质量属于机械方法;用肉眼观察干涉颜色、测定反射率或者透过率、测定偏振光以及干