| TiO2薄膜的结构和光学性质的研究 |
| |
| 引用本文： | 谢强,王取泉,魏正和,周正国. TiO2薄膜的结构和光学性质的研究[J]. 武汉大学学报(理学版), 2002, 48(5): 593-596 |
| |
| 作者姓名： | 谢强 王取泉 魏正和 周正国 |
| |
| 作者单位： | 武汉大学,物理科学与技术学院,湖北,武汉430072 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (5 98710 3 3 ) |
| |
| 摘 要： | 以金属钛为靶材，用反应射频溅射法制备了TiO2薄膜，并在600－900℃下进行了热处理，经XRD测量，在600－800℃下TiO2薄膜为锐钛矿和金红石两种结构的混合态，在900℃下TiO2薄膜为纯金红石结构，研究TiO2薄膜的SEM照片和UV－vis透射光谱发现，不同的热处理温度会影响TiO2薄膜中锐矿和金红石两种结构的比例，从而导致TiO2薄膜的微观形貌，折射率，禁带宽度等性质的变化。
|
| 关 键 词： | TiO2薄膜 结构特性 光学性质 二氧化钛薄膜 金红石结构 锐钛矿结构 折射率 |
| 文章编号： | 0253-9888(2002)05-0593-04 |
| 修稿时间： | 2002-06-15 |
Structural and Optical Properties of TiO2 Thin Films |
| |
| XIE Qiang,WANG Qu|quan,WEI Zheng|he,ZHOU Zheng|guo. Structural and Optical Properties of TiO2 Thin Films[J]. JOurnal of Wuhan University:Natural Science Edition, 2002, 48(5): 593-596 |
| |
| Authors: | XIE Qiang WANG Qu|quan WEI Zheng|he ZHOU Zheng|guo |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | TiO 2 thin film structural properties optical properties |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
