离子液体辅助溶胶-凝胶法制备ZnO∶Al透明导电薄膜及其光电性能研究 |
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引用本文: | 赵金博,吴莉莉,邹科,于伟燕,李高增.离子液体辅助溶胶-凝胶法制备ZnO∶Al透明导电薄膜及其光电性能研究[J].人工晶体学报,2011(3). |
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作者姓名: | 赵金博 吴莉莉 邹科 于伟燕 李高增 |
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作者单位: | 山东大学材料液固结构演变与加工教育部重点实验室;山东大学材料科学与工程学院; |
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摘 要: | 采用溶胶-凝胶法,以离子液体为辅助溶剂,在玻璃衬底上制备了ZnO∶Al(ZAO)薄膜。通过X-射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-Vis)和霍尔效应等测试手段,分析了不同Al掺杂浓度ZAO薄膜的微观结构、光学和电学性能。结果表明,所制备的薄膜为非(002)取向的多晶膜。随着Al离子掺杂浓度的提高,薄膜的(002)晶面取向增强,晶粒逐渐由片状向球形转变,电阻率先降低后升高。进一步研究发现,在还原气氛NH3下退火可显著降低薄膜的电阻率,Al掺杂浓度为1 mol%时,薄膜电阻率达到4.7×10-2Ω·cm,可见光透过率平均在80%以上。
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关 键 词: | 透明导电薄膜 ZAO薄膜 离子液体 溶胶-凝胶 光电性能 |
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