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| 晶粒尺寸分布对纳米晶硅薄膜喇曼散射谱的影响 | |
| 引用本文： | 许怀哲,朱美芳,韩一琴,侯伯元.晶粒尺寸分布对纳米晶硅薄膜喇曼散射谱的影响[J].半导体学报,1997,18(9):674-678. |
| 作者姓名： | 许怀哲 朱美芳 韩一琴 侯伯元 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学研究生院 |
| 摘 要： | 用热丝助化学汽相反应法沉积了nc－Si：H薄膜，测量了它的喇曼散射谱，由透射电子显微镜直接测量了晶粒的大小和分布．应用声子强限制模型和球形粒子假设，并考虑到纳米晶粒的分布对样品的喇曼散射谱进行了拟合．结果表明，在考虑到纳米粒子的尺寸分布后，采用指数权重函数比采用高斯型权重函数更接近于实验测量的喇曼谱． |
| 关 键 词： | 纳米晶硅 薄膜 喇曼散射谱 晶粒尺寸分布 |
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