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利用等离子体浸没离子植入改变金属表面的机械和化学特性

引用本文：	王惠三.利用等离子体浸没离子植入改变金属表面的机械和化学特性[J].等离子体应用技术快报,1999(3):1-5.

作者姓名：	王惠三

摘要：
关键词：	等离子体浸没 PII 离子植入金属表面改性
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