首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     检索      

用IBAD合成的Si—DLC涂层的氮离子植入
引用本文:尚忘.用IBAD合成的Si—DLC涂层的氮离子植入[J].等离子体应用技术快报,1999(10):5-7.
作者姓名:尚忘
摘    要:

关 键 词:离子束辅助沉积  氮离子植入  DLC膜  
本文献已被 维普 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号