|
|||||
|
|
| 光学工艺 微细加工技术与设备 | |
| 摘 要： | TN305.7 2006043713影响球面激光直写线宽均匀度的关键技术=Key tech-niques influencing the linewidth evenness grade with laserdirect writing on the spherical surface[刊,中]/胡君(中科院长春光机所.吉林,长春(130033)) ,梁凤超…∥光电工程.—2006 ,33(3) .—1-4为提高球面激光直写图形线宽均匀度,提出了球面激光直写四轴同心结构和同心扫描光学系统的方案。这种方案使得激光束经水平轴、垂直轴、光轴和工件中心轴相交于球心,经球心反射镜反射到球面工件表面上,形成激光曝光光斑。采用微小离焦探测和复合闭环控制的自动调焦技术… |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |