| 利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究 |
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| 引用本文： | 王淼,李振华,竹川仁士,齐藤弥八.利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究[J].物理学报,2004,53(3):888-890. |
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| 作者姓名： | 王淼 李振华 竹川仁士 齐藤弥八 |
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| 作者单位： | (1)日本三重大学工学部，津 514-8507; (2)浙江大学力学系，杭州 310027; (3)浙江大学物理系，杭州 310027;日本三重大学工学部，津 514-8507 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号: 60271009)及浙江省自然科学基金(批准号：501109)资助的课题. |
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| 摘 要： | 利用微波等离子体增强化学气相沉积法在氢气和甲烷的混合气体中定向生长纳米碳管.经扫描电子显微镜观察与分析，发现纳米碳管在与基板垂直的方向上整齐排列，管径较均匀且长度基本相同.
关键词：
微波等离子体
纳米碳管
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| 关 键 词： | 微波等离子体 纳米碳管 |
| 收稿时间： | 4/1/2003 12:00:00 AM |
Study on the definite direction growth of carbon nanotubes by the microwave plasma-enhanced chemical vapro phase deposition |
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| Wang Miao,Li Zhen-Hu,Takegawa Hitosi and Saito Yahachi.Study on the definite direction growth of carbon nanotubes by the microwave plasma-enhanced chemical vapro phase deposition[J].Acta Physica Sinica,2004,53(3):888-890. |
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| Authors: | Wang Miao Li Zhen-Hu Takegawa Hitosi and Saito Yahachi |
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| Abstract: | Using the microwave plasma-enhanced chemical vapor phase deposition,in the gas mixture of the methane and hydrogen, the aligned growth of the carbon nanotubes was observed and analyzed with a scanning electron microscope.The carbon nanotubes have the tidy arrangement in the perpendicular direction on a solid substrate.Its length is the same as the uniform caliber.This kind of carbon nanotubes can be used as the potential electron source material. |
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| Keywords: | microwave plasma carbon nanotubes |
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