| 氮流量对ZnO∶N薄膜微结构及光学性能影响 |
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| 引用本文： | 朱华,况慧芸,冯晓炜,万文琼.氮流量对ZnO∶N薄膜微结构及光学性能影响[J].人工晶体学报,2012,41(5):1280-1285. |
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| 作者姓名： | 朱华 况慧芸 冯晓炜 万文琼 |
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| 作者单位： | 景德镇陶瓷学院机电学院,景德镇333001;景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系,景德镇333001;景德镇陶瓷学院科技艺术学院工程系,景德镇,333001 |
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| 摘 要： | 运用射频磁控溅射技术,改变氩、氮流量比(9/1 ～ 9/4)在玻璃衬底上获得ZnO∶N样品,采用XRD、紫外-可见分光光度计、傅里叶红外光谱仪及SEM对薄膜微结构和光学性能表征.结果发现∶N流量小,样品XRD峰强小,峰位不明显,紫外可见光光谱在320 ～780 nm波长区间透射率变化小；随着N流量的增加,样品XRD有(002)强单峰出现,在400 nm波长以下透射率急剧下降；当氩氮流量达到9/4,样品XRD出现双峰,紫外光透射率无明显变化.
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| 关 键 词： | ZnO∶N薄膜 透射率 磁控溅射 |
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