在线检测与分析 快速发现不可见的电学缺陷

在Fab里，在经过特别设计的短流程测试晶圆上进行的快速电学测试和自动FIB／SEM缺陷分析可以将不可见缺陷探测与分析的时间降低一个数量级，并且对不同的设计参数非常敏感，因而有足够的样本来做重要的统计评估。