| 两位置球面面形检测方法研究 |
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| 引用本文： | 彭建华,沈亦兵,汪凯巍,刘勇.两位置球面面形检测方法研究[J].光子学报,2011(9):1361-1365. |
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| 作者姓名： | 彭建华 沈亦兵 汪凯巍 刘勇 |
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| 作者单位： | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室; |
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| 摘 要： | 三位置球面面形绝对检测方法在一定的条件下可以简化为两位置球面面形检测方法.本文在研究三位置绝对检测原理的基础上,提出了基于菲索干涉系统新的两位置球面面形检测方法.该方法的简化条件分为参考面面形误差偶对称或被检面面形误差偶对称两种不同的情况.实验结果表明,两位置检测方法可以有效实现PVr值λ/30的高准确度检测,且检测结...
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| 关 键 词： | 两位置球面面形检测 三位置绝对检测 准确度 重复性 |
Method of Two-position Spherical Testing |
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| PENG Jian-hua,SHEN Yi-bing,WANG Kai-wei,LIU Yong.Method of Two-position Spherical Testing[J].Acta Photonica Sinica,2011(9):1361-1365. |
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| Authors: | PENG Jian-hua SHEN Yi-bing WANG Kai-wei LIU Yong |
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| Institution: | PENG Jian-hua,SHEN Yi-bing,WANG Kai-wei,LIU Yong(State Key Laboratory of Optical Instrument,Zhejiang University,Hangzhou 310027,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Two-position spherical testing Three-position absolute testing Accuracy Repeatability |
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