| 非极性GaN薄膜及其衬底材料 |
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| 引用本文： | 周健华,周圣明,邹军,黄涛华,徐军,谢自力,韩平,张荣.非极性GaN薄膜及其衬底材料[J].人工晶体学报,2006,35(4):765-771. |
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| 作者姓名： | 周健华 周圣明 邹军 黄涛华 徐军 谢自力 韩平 张荣 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800;南京大学物理系,南京,210093 |
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| 基金项目： | 中国科学院“百人计划”，国家高技术研究发展计划(No.2004AA311080)资助课题 |
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| 摘 要： | 本文分析了在不同衬底上生长无极性GaN薄膜的情况,这些衬底主要包括γ-LiAlO2、r面蓝宝石等.通常在蓝宝石上制备的GaN外延膜是沿c轴生长的,而c轴是GaN的极性轴,导致GaN基器件有源层量子阱中出现很强的内建电场,发光效率会因此降低,发展非极性面外延,有望克服这一物理现象,使发光效率提高.
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| 关 键 词： | r面蓝宝石 γ-LiAlO2 a面GaN m面GaN |
| 文章编号： | 1000-985X（2006）04-0765-07 |
| 收稿时间： | 11 18 2005 12:00AM |
| 修稿时间： | 2005-11-182006-03-12 |
Nonpolar GaN Films and Their Substrate |
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| ZHOU Jian-hua,ZHOU Sheng-ming,ZOU Jun,HUANG Tao-hua,XUN Jun,XIE Zi-li,HAN Ping,ZHANG Rong.Nonpolar GaN Films and Their Substrate[J].Journal of Synthetic Crystals,2006,35(4):765-771. |
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| Authors: | ZHOU Jian-hua ZHOU Sheng-ming ZOU Jun HUANG Tao-hua XUN Jun XIE Zi-li HAN Ping ZHANG Rong |
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| Institution: | 1. Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences,Shanghai 201800, China; 2. Graduate School of the Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China; 3. Department of Physics, Nanjing University, Nanjing 210093, China |
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| Abstract: | |
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