| 小型PZT压力探针制备工艺研究 |
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| 引用本文： | 曾祥君,刘光聪,曾德平.小型PZT压力探针制备工艺研究[J].压电与声光,2004,26(3):200-202. |
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| 作者姓名： | 曾祥君 刘光聪 曾德平 |
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| 作者单位： | 四川压电与声光技术研究所,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 介绍了一种小型PZT压力探针的制备工艺全过程。文章提出该小型PZT压力探针的主要制作工艺难点及解决办法．给出了研制的初样及测试结果。
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| 关 键 词： | 压力传感器 PZT探针 成型 镀膜 极化 装配 |
| 文章编号： | 1004-2474(2004)03-0200-03 |
| 修稿时间： | 2003年12月24 |
Research on the Making Process of Small PZT Pressure Probe |
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| ZENG Xiang-jun,LIU Guang-cong,ZENG De-ping.Research on the Making Process of Small PZT Pressure Probe[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2004,26(3):200-202. |
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| Authors: | ZENG Xiang-jun LIU Guang-cong ZENG De-ping |
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| Abstract: | The complete procedure of making a small pressure probe is introduced in this paper. Some difficulties in the key process and the ways to solve the problems are proposed. A sample probe and its experimental result are also given in the paper. |
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| Keywords: | pressure sensor PZT probe shaping film polarizing mounting |
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