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脉冲dcPACVD沉积的Ti1—xAlx硬涂层的机械性能、结构和氧化行为

作者姓名：	马兵

摘要：
关键词：	亚稳态体系涂层等离子体辅助化学气相沉积脉冲dcPACVD沉积 T1－xAlx硬涂层机械性能结构氧化
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