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| 超大规模集成电路生产环境空气含尘浓度的预测 | |
| 引用本文： | 王毅勃.超大规模集成电路生产环境空气含尘浓度的预测[J].洁净与空调技术,1998(3):10-13. |
| 作者姓名： | 王毅勃 |
| 作者单位： | 电子工业部第十一设计研究院 (王毅勃)，电子工业部第十一设计研究院(王唯国) |
| 摘 要： | 本文为了适应21世纪初期超大规模集成电路发展的需要,提出了预测空气含尘浓度的方法。建立了空气含尘浓度C和空气粒子最大允许值E之间的关系式,计算出和IC集成度相对应的圆片加工区的空气含尘浓度C值。 |
| 关 键 词： | 大规模集成电路 洁净室 空气含尘浓度 预测 |
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