| 超大带宽高频XBAR谐振器研究 |
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| 引用本文： | 俞振一,郭瑜,傅肃磊,苏荣宣,李百川,张帅,徐惠平,潘峰,王为标. 超大带宽高频XBAR谐振器研究[J]. 压电与声光, 2022, 44(5): 700-703 |
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| 作者姓名： | 俞振一 郭瑜 傅肃磊 苏荣宣 李百川 张帅 徐惠平 潘峰 王为标 |
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| 作者单位： | 江南大学 物联网工程学院,江苏 无锡 214122;无锡市好达电子股份有限公司,江苏 无锡 214124;清华大学 材料学院,北京 100084;上海师范大学 信息与机电工程学院,上海 200234 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划资助项目(2020YFB0408900)；国家自然科学基金资助项目(52002205) |
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| 摘 要： | 随着第五代移动通信(5G)时代的到来，高频、大带宽的谐振器成为通信行业的迫切需求。该文设计制备了一款可实现高频超大带宽的横向激发体声波谐振器(XBAR)。该谐振器A1模式的谐振频率为5.81 GHz,机电耦合系数可达39.6%,Q-3 dB为248;A3模式的谐振频率高达17.04 GHz,机电耦合系数为7.0%。该谐振器A1和A3模式的频率温度漂移系数(TCF)分别为-72.6×10-6/℃和-38.5×10-6/℃。此外，该文还提出了一种新型叉指电极(IDT)结构，该结构可以抑制寄生模式，提升谐振器性能。
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| 关 键 词： | XBAR谐振器 高频率 超大带宽 5G通信 寄生模式 |
Research on Ultra Wide-Band and High-Frequency XBAR Resonator |
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| Yu Zhenyi,Guo Yu,Fu Sulei,Su Rongxuan,Li Baichuan,Zhang Shuai,Xu Huiping,Pan Feng,Wang Weibiao. Research on Ultra Wide-Band and High-Frequency XBAR Resonator[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2022, 44(5): 700-703 |
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| Authors: | Yu Zhenyi Guo Yu Fu Sulei Su Rongxuan Li Baichuan Zhang Shuai Xu Huiping Pan Feng Wang Weibiao |
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| Affiliation: | School of Internet of Things Engineering, Jiangnan University, Wuxi 214122 , China;Shoulder Electronics Co.,Ltd.,Wuxi 214124 , China;School of Materials Science and Engineering, Tsinghua University, Beijing 100084 , China;College of Information, Mechanical and Electrical Engineering, Shanghai Normal University, Shanghai 200234 , China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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