| 基于COMSOL的小尺寸SAW滤波器仿真 |
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| 引用本文： | 李孟辉,齐梦珂,牟笑静,陈建军,潘虹芝,程一民,曹亮.基于COMSOL的小尺寸SAW滤波器仿真[J].压电与声光,2022,44(5):722-725. |
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| 作者姓名： | 李孟辉 齐梦珂 牟笑静 陈建军 潘虹芝 程一民 曹亮 |
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| 作者单位： | 重庆大学 新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆 400044;中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆 400060 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划基金资助项目(No．2019YFB2004800，No．2019YFB2004803)；国家自然科学基金资助项目(No．52075061)；中央高校基础研究基金资助项目(No．2019CDCGGD320)；重庆大学光电工程学院项目研究生科研和创新基金会资助项目(GDYKC202004) |
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| 摘 要： | 针对基于钽酸锂压电基底的小尺寸边缘反射型声表面波（SAW）滤波器，该文采用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件对该SAW滤波器进行建模仿真，并进行了固体力学和静电学物理场的有限元仿真分析。同时讨论了电极材料、电极厚度对其导纳曲线谐振频率和反谐振频率的影响，证明了电极厚度能够影响器件导纳曲线的寄生谐振，且选定导纳曲线中寄生谐振最弱时的厚度为该电极的最佳厚度。最后选用厚度为1.6 μm的Al作为该小尺寸SAW滤波器的电极，并对不同基片端面位置下的传输响应进行仿真分析。常规的二维FEM仿真结果表明，当基片边缘端面距叉指换能器(IDT)边缘为0时，器件的中心频率为126.35 MHz，插入损耗为-2.57 dB，-3 dB带宽为3.3 MHz。该仿真结果与经COM模型模拟获得的响应结果具有较高的匹配度，从理论仿真角度进一步证明了大介电常数基片端面反射可以等效为一个强反射的反射条。
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| 关 键 词： | 声表面波 有限元仿真 边缘反射 滤波器 COMSOL Multiphysics |
Simulation of Small Size SAW Filter Based on COMSOL |
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| Li Menghui,Qi Mengke,Mou Xiaojing,Chen Jianjun,Pan Hongzhi,Cheng Yimin,Cao Liang.Simulation of Small Size SAW Filter Based on COMSOL[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2022,44(5):722-725. |
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| Authors: | Li Menghui Qi Mengke Mou Xiaojing Chen Jianjun Pan Hongzhi Cheng Yimin Cao Liang |
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| Institution: | National Defense Key Discipline Laboratory of New Micro-Nano Devices and Systems Technology, Chongqing University, Chongqing 400044 , China;The 2 6.th Institute of China Electronic Technology Group Corporation, Chongqing 400060 , China |
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| Abstract: | |
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