IB—3溅射仪的功能开发新技术

日立S—530型扫描电镜,随机配一台IB—3溅射仪,供扫描电镜样品溅射金膜之用,附有离子减薄功能。我们近年对减薄功能不断进行摸索。经过大量工作,逐步掌握了氩离子刻蚀法,先后对聚丁二酸丁二醇酯熔体结晶、聚丙烯香豆素相熔结晶,以及热致液晶共聚物等分别进行蚀刻处理后达到满意效果。下面照片是蚀刻与未蚀刻的比较。