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芯片三维(3D)组装工艺研究
作者姓名:夏俊生  高亮  李杰
作者单位:中国兵器工业第214研究所,蚌埠233042
摘    要:针对双层和三层芯片三维(3D)组装进行工艺试验研究;介绍了研究的结果和分析结论;明确了基本的双层和三层芯片三维组装工艺方法和流程。

关 键 词:芯片  三维组装金字塔形  悬臂梁形  三维组装测试
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