氦载气熔化-气相色谱法测定硅中微量氧 |
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引用本文: | 何焕南,赵关弟,严荣华,吕庆仁.氦载气熔化-气相色谱法测定硅中微量氧[J].分析化学,1982(10). |
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作者姓名: | 何焕南 赵关弟 严荣华 吕庆仁 |
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作者单位: | 中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所 |
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摘 要: | 本文提出了氦载气熔化-气相色谱法(镍-锡熔池方案)测定硅中微量氧。采用镍-锡熔池时硅中定氧的温度可低于与碳直接接触的空坩埚无浴法。由于改进了实验条件和使用了小型裸体石墨坩埚,降低了气体分析的空白(<0.1μg氧),并提高了分析结果的重现性。分析温度1650~1700℃,抽取时间5分钟,每个坩埚可以分析4个样品。用此法可测定ppm级硅中氧。用本法建立了9μ红外吸收法测定硅单晶中氧标定曲线。
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