| SrTiO3薄膜生长初期Sr,Ti,O原子分子反应机理的理论研究 |
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| 引用本文： | 王佩怡,杨春,李来才,李言荣.SrTiO3薄膜生长初期Sr,Ti,O原子分子反应机理的理论研究[J].物理学报,2008,57(4). |
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| 作者姓名： | 王佩怡 杨春 李来才 李言荣 |
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| 基金项目： | 国防科技预研项目
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四川省青年科技基金 |
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| 摘 要： | 在激光分子束外延(LMBE)生长SrTiO3(STO)薄膜过程中,激光闪蒸出的Sr,Ti,O原子的微观反应过程及粒子形态是STO薄膜生长初期形成的关键.采用密度泛函理论中的广义梯度近似(DFT/GGA)方法,在PW91/DNP水平上研究了Sr,Ti,O原子在真空中的优先反应过程和形态,计算研究了SrO,TiO2和STO分子形成的反应机理,获得了相应的中间体和过渡态及反应活化能,并运用前线轨道理论分析了STO分子的形成机理.对比计算了STO分子可能的几何构型,得到了比较稳定的构型,其几何特征与STO单胞部分相似.计算研究表明,SrO,TiO2,STO分子是LMBE外延生长STO薄膜初期的主要粒子形态.
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| 关 键 词： | SrTiO3薄膜 反应机理 活化能 薄膜生长 原子分子 反应机理 理论研究 reaction mechanism study Theoretical thin films growth 外延生长 相似 单胞 几何特征 稳定 比较 几何构型 对比计算 形成机理 分析 前线轨道理论 |
Theoretical study on the reaction mechanism of Sr,Ti,O reactions in early growth of SrTiO3 thin films |
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| Wang Pei-Yi,Yang Chun,Li Lai-Cai,Li Yan-Rong.Theoretical study on the reaction mechanism of Sr,Ti,O reactions in early growth of SrTiO3 thin films[J].Acta Physica Sinica,2008,57(4). |
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| Authors: | Wang Pei-Yi Yang Chun Li Lai-Cai Li Yan-Rong |
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