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BN坩埚中的AIN单晶生长
引用本文:李娟 胡小波 姜守振 王英民 宁丽娜 陈秀芳 徐现刚 王继扬 蒋民华. BN坩埚中的AIN单晶生长[J]. 人工晶体学报, 2006, 35(2): 435-436
作者姓名:李娟 胡小波 姜守振 王英民 宁丽娜 陈秀芳 徐现刚 王继扬 蒋民华
作者单位:山东大学晶体材料国家重点实验室,济南250100
基金项目:国家自然科学基金(No.50472068)和教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目
摘    要:AIN是第三代直接宽带隙半导体材料的代表,具有宽带隙、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和漂移速度等特点,在制作大功率微电子器件和紫外探测器等方面,具有广泛的应用前景。AIN在光电子领域的应用潜力也不容忽视。AIN作为GaN材料的衬底,与目前广泛使用的SiC和宝石衬底相比,具有晶格失配位错密度低、热导率高、热膨胀系数差别小等优点,因而能大大提高GaN器件的性能和使用寿命。目前,各国竞相投入大量的人力、物力进行AIN单晶的研究工作。我国在这方面还鲜有报道。本文报道了山东大学在AIN单晶生长探索方面取得的一些进展。

关 键 词:单晶生长 AIN 宽带隙半导体材料 微电子器件 GaN材料 坩埚 BN 高热导率 紫外探测器 光电子领域
收稿时间:2006-01-09
修稿时间:2006-01-09

Growth of AIN Single Crystals in BN Crucible
LI Juan, HU Xiao-bo, JIANG Shou-zhen, WANG Ying-min,NING Li-na, CHEN Xiu-fang, XU Xian-gang, WANG Ji-yang, JIANG Min-hua. Growth of AIN Single Crystals in BN Crucible[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2006, 35(2): 435-436
Authors:LI Juan   HU Xiao-bo   JIANG Shou-zhen   WANG Ying-min  NING Li-na   CHEN Xiu-fang   XU Xian-gang   WANG Ji-yang   JIANG Min-hua
Affiliation:State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University, Jinan 250100 ,China
Abstract:
Keywords:
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