| ITO薄膜电极激光损伤形貌的多重分形研究 |
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| 引用本文： | 罗飞,骆永全,张大勇,付博,李剑峰,刘仓理. ITO薄膜电极激光损伤形貌的多重分形研究[J]. 应用激光, 2010, 0(2). DOI: 10.3788/AL20103002.0086 |
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| 作者姓名： | 罗飞 骆永全 张大勇 付博 李剑峰 刘仓理 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院流体物理研究所,四川绵阳,621900 |
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| 基金项目： | 中国工程物理研究院重点基金资助项目 |
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| 摘 要： | 液晶光学器件中液晶分子的转动由施加在ITO薄膜电极间的电场来控制,ITO晶体结构中空穴和自由电子与强激光的相互作用,使ITO薄膜电极成为液晶光学器件结构中激光损伤的薄弱环节.为探索ITO薄膜电极的激光损伤机制,使用原子力显微镜(AFM)对厚度约为10nm的ITO薄膜的表面形貌进行了测量.采用多重分形理论,定量分析了薄膜表面粗糙度及微孔洞分布情况,对薄膜在脉冲宽度为10ns,能量分别为50mJ、lOOmJ、200mJ激光辐照下所获得薄膜的表面粗糙度分布情况进行比较分析,结果显示,随着激光功率的增加,多重分形谱的谱宽△a呈增大趋势,且△f为负值,表明ITO.薄膜表面粗糙度增大并形成微孔洞缺陷.
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| 关 键 词： | IT0薄膜 纳秒激光 多重分形 |
Analysis of Multi-fractal Patterns of ITO Film Radiated by Laser |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AFM |
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